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中国
man holding silicon wafer

KrF (248nm)

用途广泛的正性KrF光刻胶

特点与优势

GKR 系列是用途广泛的正性KrF光刻胶产品。

  • 高纵宽比应用
  • 优异的抵抗性(等离子刻蚀和离子注入工艺中)
  • 优异的热稳定性
  • 工艺窗口广
  • 低缺陷水平
  • 长期稳定性
  • 垂直形貌
  • 厚度覆盖范围广