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中国
Semiconductors Photoresist E-Beam

e-Beam

正负e-Beam光刻胶产品系列,适用于多种电子束微显影应用

特点与优势

  • 高分辨率
  • 工艺窗口广

产品概要

FEP 系列

  • FEP系列产品适用于电子束曝光正显影成像的多种应用。

FEN 系列

  • FEN 系列产品适用于电子束曝光的负显影成像的多种应用。