富士胶片电子材料公司提供即用型(RTU)和浓缩型正性显影液,适用于先进的正性光刻胶显影工艺,适合浸润式曝光和在线显影工艺。
正性显影液是以TMAH为基底的显影液,拥有多种质量等级,包括用于先进半导体应用的超高纯度等级*1。产品有含表面活性剂和不含表面活性剂两种,亦可根据客户本地混配需求提供浓缩液。
- 即用型产品
- 不含表面活性剂的显影液(TMAH 2.38 wt%)
- 含表面活性剂的显影液(TMAH 2.38 wt%)
- 浓缩产品(需要客户稀释)
- TMAH 24.9%显影液
- 10%TMAH显影液*2 (含表面活性剂)
*1 专业术语
*2 浓缩TMAH和表面活性剂预混合以供客户稀释
- 先进半导体应用的高纯度选择
- 高产量制造用的浓缩液和槽车供货方案
- EUV应用
- 包装选项
- 1000L桶(一次性或可回收)
- 200L桶(一次性或可回收)
- 槽车(视客户地点而定)
- 4 x 4L瓶










