当今关键的光刻胶应用对剥离、去除和冲洗性能要求极高。为此，我们开发了一整套EBR解决方案，既能实现优异的EBR去除效果，又能保持行业在纯度、包装和环境保护方面的标准。 富士胶片拥有广泛的溶剂产品线，可满足各种应用需求。我们的产品在先进的生产设施中制造，全程对颗粒、痕量金属、有机污染物开展精细化管控。除了纯溶剂产品外，富士胶片还支持为特殊或客户特定应用调配定制混合溶剂。
产品阵容
- 醇类和酮类：（甲醇、丙酮、MEK、乙醇、IPA、MIBC、MIBK、环戊酮、环己酮）
- 乙酸盐、内酯、醚：（PGME、PGMEA、GBL、EL、nBA）
- EUV溶剂和定制混配产品（请咨询您的富士胶片客户经理）
功能与优势
- 用于减少缺陷的超高纯度溶剂
- 先进的EUV溶剂，可实现高图案化精度和降低抗蚀剂溶胀特性
- 定制加工和混合
- 用于保障产品纯度和质量的先进分析工具
- 区域化采购：美国、欧洲和亚洲制造和包装
- 包装选项:
- 1L-4L 玻璃瓶
- NOWPak包装
- 桶：不锈钢、PFA、HDPE
- IBC：不锈钢、PFA、HDPE
- 槽车
NOWPak是Entegris，Inc.在美国和/或其他国家的商标或注册商标。
