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清洗液:特点与优势
清洗液
用于清洗刻蚀后残留在铝和铜合金、抗反射层、SiO2和低电介质上的水溶性的清洗液。
产品介绍
特点与优势
应用
特点与优势
工艺宽容度大
与喷涂和批处理机台应用兼容
与羟胺 (HA) 溶剂型清洗液相比,拥有明显的成本优势, 可直接用去离子水冲洗
节省了IPA漂洗化学品成本
去除了IPA漂洗步骤提高产量
安全易用
优良的工艺设备材料相容性
良好的金属和 层间绝缘层(ILD)兼容性
包装选项:
4 L HDPE 瓶
200升桶装
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