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Three beakers filled with Red, Green, and Blue liquids

清洗液 - 特点与优势

用于清洗刻蚀后残留在铝和铜合金、抗反射层、SiO2和低电介质上的水溶性的清洗液。

特点与优势
  • 工艺适用范围广泛
  • 兼容喷雾和槽式设备应用
  • 相比溶剂型清洗剂具有更低的使用成本—可直接使用去离子水冲洗
    • 无需额外的化学冲洗步骤,降低冲洗化学品成本并提升产能
  • 安全易用
  • 兼容先进工艺设备材料
  • 对金属、介电层(ILD)及超低介电常数材料(ULK)具有优越的兼容性
  • 通过先进的分析工具持续验证产品纯度
  • 在美国和亚洲工厂生产及包装
  • 根据蚀刻剂类型提供不同等级产品
  • 部分产品提供含表面活性剂和不含表面活性剂两种选择
  • 详情请参阅我们的蚀刻剂类型应用概览
  • 包装选项:
    • 4 x 4L 瓶
    • 200L 桶(一次性或可回收)
    • 1000L 桶(一次性或可回收)
    • 槽车(视客户地点而定)

如需更多信息,请联系我们。