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中国
Three beakers filled with Red, Green, and Blue liquids

清洗液

用于清洗刻蚀后残留在铝和铜合金、抗反射层、SiO2和低电介质上的水溶性的清洗液。

特点与优势

  • 工艺宽容度大
  • 与喷涂和批处理机台应用兼容
  • 与羟胺 (HA) 溶剂型清洗液相比，拥有明显的成本优势， 可直接用去离子水冲洗
    • 节省了IPA漂洗化学品成本
    • 去除了IPA漂洗步骤提高产量
  • 安全易用
  • 优良的工艺设备材料相容性
  • 良好的金属和 层间绝缘层（ILD）兼容性
  • 包装选项：
    • 4 L HDPE 瓶
    • 200升桶装

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