清洗液 - 应用

应用包括在铝合金上的通孔、金属线和键合PAD的蚀刻后清洗，抗反射层和二氧化硅介电层的清洗，以及适用于铜、低介电常数和超低介电常数材料的先进多层互连（MOL）和后端互连（BEOL）工艺的蚀刻残留物去除。