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首页 商用类产品 半导体材料 CVD前驱体和化学品输送系统 温度控制器
Temperature Control Panel

温度控制器 - 产品介绍

易于操作,准确控制前驱体温度

TC 2000 系列可在加工过程中准确控制前驱体温度,实现稳定的蒸气压。

产品概要

TC2000™ -温度控制器

  • 三档温度范围
    • CH - 冷却/加热 15°C-40°C
    • H - 加热 35°C-70°C
    • HH - 超热 55°C-90°C
  • 三种硬件配置
    • 经典 - 单机
    • R - 远程电子设备
    • RM - 机架式
特点与优势
  • 正面操作
  • 预装自动加注
  • 兼容大多数行业标准安瓿瓶
  • 支持1.2L容器尺寸
  • 灵活的设计