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设计采用开放架构的化学品输送系统,与众多化学品兼容
我们的Genstream®经过精心设计,易于使用和维护,并能为您的工艺增加含金量。我们的Genstream®系统解决方案采用多模块化设计,能够以较少的资本投资量身定制,以满足您的特定工艺需求。
高级Low K材料
用于 45/22 nm及以下节点的高级绝缘层材料
间隙填充
支持低介电系数的化学品
电介质和掺杂源
高纯度前驱体由先进的分析测试和生产提供支持
其他
氯源、增粘剂、蚀刻剂、清洁剂、还原剂
温度控制器
易于操作,准确控制前驱体温度